非接触式轮廓仪优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触，保护了测量装置，同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。
Zeta-20 三维光学轮廓仪的典型应用：
·MEMS（微机电系统）
·光伏太阳能电池
·微流体设备
·数据存储磁盘倒边
·激光打孔
·半导体晶圆级芯片级封装
多功能光学测试模组
·*ZDot点阵三维成像技术与*的算法相结合，轻易获得各种样品表面信息生成高分辨率 3D 数据。
·ZIC 干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
·ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。
·ZX5 白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。
·ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量 薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
Zeta-20三维光学轮廓仪优点：
·多功能——能够在任何表面上进行多次测量
·特定应用软件和算法
·对振动和样品倾斜不敏感
·高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量
·易于使用——用户可以快速启动和运行
混合反射率表面测量：在太阳能电池表面氮化物涂层上的银。银反射率大于90%，氮化物反射率小于1%，两者反射率差非常大，Zeta-20高动态范围可轻松测量混合反射率表面。
在微机电系统上进行亚微米级台阶高度测量：可实现大面积高分辨率测量。
分析防伪透明特征：可在混合、不平整的表面上进行准确的 3D 轮廓分析（图中是人民币20元防伪标志）
光刻胶和金属的台阶测量：ZDot 的多模式*地实现了金属台阶和薄膜厚度的同时测量。
激光切割：测量 LED 设备上激光切割的深度。在非常低的对比度，高粗糙度的表面测量。 测量空腔边缘的材料堆积，以确定它是否已流出划线区域并流入 LED 器件的有源 区域。
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